真空箱检漏系统基本功能：等压抽真空-He检漏-He回收-充SF6设备
设备工作的基本原理：
1、该装置同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于工件允许或需要的值（可按
产品实际情况在≤0.08MPa 范围内任意设定）检大漏。
2、再将真空抽到一致，然后对被检工件充注氦气使工件和真空箱内压差达允许值，应用真
空箱法进行氦质谱气密性检测，判断出被检工件中的合格与不合格；有漏的工件应用吸枪法
进行氦质谱检测，判断出被检工件漏点的位置。
3、然后将被检工件内的氦气经过滤、除水后回收，供循环使用。
4、最后向工件内充入规定压力的 SF6 气体。根据充气时的环境温度、开关使用海拔高度或
要求充气压力，设备可自动换算出应充压力值并控制充气过程；充气时真空箱充入空气（或
氮气），工件充入 SF6。
