真空机组设备产品有：

真空采集设备——真空产生、改进或维护设备。包括各种粗、低、中、高、超高真空泵及真空机组。

机械真空泵——旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵、液环泵等。

气体捕获真空泵——钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵、锆铝吸气泵。

真空机组——即通过产生真空、测量真空和控制真空等各种元件组成的各种机组。

真空泵工作时当转子旋转时，相互啮合的每一对齿再次完成相同的工作周期。真空泵不适用于爆炸性气体的排除，氧气不适用于高浓度气体的排除，开式中间泵和主泵循环冷却水的进出口阀门，以保证循环冷却水的进出口正常。

关闭水泵缓冲罐上的排水阀，启动水泵，当水泵工作正常时，慢慢打开前水泵旁路管上的阀门和旋转真空泵的进气阀。

当系统压力达到中间泵允许的进口压力时，中间泵启动。如果采用自动控制装置，则直接传送到自动控制装置，自动实现机组的起动过程。如手动控制，当中间泵出口压力达到主泵允许进口压力时启动主泵。