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真空箱式检漏设备
充气设备
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       充氦回收部分主要包括高、低压氦气罐、无油真空泵、气囊、无油氦气压缩机、电池阀门、压力传感器、真空计和管道组成。能在设定的时间内对工件进行抽真空、充氦和氦回收等处理。